场发射扫描电子显微镜
一体化双束显微平台，集成GEMINI电子束成像与Ion-sculptor聚焦离子束加工功能，兼具高分辨成像、微纳加工与三维分析能力，操作便捷，适配多场景共享实验室使用。
产品用途
1、电子束性能：加速电压0.02kV–30kV，15kV下分辨率0.6nm，低电压成像性能优异，适配各类精细微观成像。
2、双束配置：电子束负责高分辨成像，离子束实现精准微纳刻蚀、切割、沉积，可原位完成观测与加工操作。
3、样品适配：支持可变压力模式，可处理不导电、磁性、含水含油、易脱气等无法高真空观测的复杂样品。
4、操作优势：搭载智能工作流程，支持自动化TEM薄片制备、三维切片重构，适配高通量样品制备与分析。
5、拓展性：模块化设计，可搭配多种探测器，兼容原位实验、微纳结构表征等拓展需求。
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